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Solar cell transfer machine　　　　　 　　 　　

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ソーラーセル製造ライン　太陽電池用ウェーハ移載機

• ソーラーセル用シリコンウェーハ（□１５６mm）に対応したウェーハをカセットとボードの間を移載する装置です。

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ウェーハ仕様

• ウェーハサイズ：□１５６mm
• ウェーハ厚み：180±20μm
• 材質：単結晶シリコン

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50枚カセット仕様

• ウェーハ収納枚数：５０枚
• ピッチ：４ｍｍ〜５ｍｍ
• 材質：PPS
• 外形：２７８×１８５×１８０

※各サイズ等の仕様変更可能

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100枚カセット仕様

• ウェーハ収納枚数：１００枚
• ピッチ：４ｍｍ〜５ｍｍ
• 材質：PVDF
• 外形：５５４×２０６×２０６

※各サイズ等の仕様変更可能

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石英ボート仕様

• ウェーハ収納枚数：１００〜２５０枚
• ピッチ：３ｍｍ〜４ｍｍ
• ウェーハ挿入溝角度：80度　（水平から）
• 材質：石英

※各サイズ等の仕様変更可能

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機能：動作モードについて

• スタック-１００枚移載：製品、太陽電池用ウェーハをスタックから１００枚カセットへ移載するモード。

基本仕様　装置サイズ
寸法：　８９９×２２９３．５　H１５０３

• １００枚-５０枚移載：製品、太陽電池用ウェーハを１００枚から５０枚カセットへ移載するモード。

基本仕様　装置サイズ
寸法：　２０８０×１９００　H１５３５

• ５０枚カセット-石英ボート移載：２枚重ね、反転装置付
• ５０枚カセットからボートへ、ボートから５０カセットへの往復移載

基本仕様　装置サイズ
寸法：　２０８０×１９００　H１６７５







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